GJB 6460-2008 干涉仪系统传递函数测量台阶板位相比较法
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C9C2659FB7524446B1B1C064395ED454 |
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0.53 |
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12 |
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日期： |
2024-7-14 |
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(■ I,----K：--------- ＞，9-------,中华人民共和国国家军用标准,FL 2200 GJB 6460-2008,干涉仪系统传递函数测量,台阶板位相比较法,Measurement of interferometer system transfer function,comparison method of phase step,2008—03—17 发布2008-10-01 实施,国防科学技术工业委员会发布,GJB 6460-2008,-l-U -,刖 百,本标准附录A是规范性附录，附录B是资料性附录,本标准由中国工程物理研究院提出,本标准由中国工程物理研究院归口,本标准起草单位：中国工程物理研究院激光聚变研究中心、中国科学院上海光学精密机械研究所,本标准主要起草人：邓 燕、许 乔、陈 波、柴立群、沈卫星、石琦凯、任 寰、戴红玲等,I,GJB 6460-2008,干涉仪系统传递函数测量,台阶板位相比较法,1范围,本标准规定了用台阶板位相比较法测量干涉仪系统传递函数的测量方法,本标准适用于数字式斐索平面干涉仪系统传递函数的测量,2规范性引用文件,下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有的,修改单(不包含勘误的内容)或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究是,否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准,GBfT 1185-2006光学零件表面疵病,JC/T 185-1996光学石英玻璃,3术语和定义,下列术语和定义适用于本标准,3.1,反射波前畸变 reflection wavefront distortion,经被检光学表面反射后的波前相对于标准参考波前的偏差,3.2,透射波前畸变 transmission wavefront distortion,透过被检光学元件后的波前相对于标准参考波前的偏差,3.3,面形误差surface error,被检光学面形相对于标准参考光学表面的偏差,3.4,功率谱密度 power spectral density (PSD),波前畸变傅里叶频谱振幅的平方与空间采样长度的比值，用于定量描述光学元件波前畸变的空间频,率分布,3. 5,干涉仪系统传递函数 interferometer system transfer function (ISTF),干涉仪系统对波前测量中各空间频率分量的响应函数,3.6,台阶板表面起伏噪声 surface fluctuation noise of step,台阶板表面粗糙度与台阶高度的比值,3.7,理论台阶 theoretical step,描述为公式(1)：,运0,?>0,⑴,GJB 6460-2008,式中：,step （m） ---- 理论台阶函数；,u——理论台阶函数坐标值，单位为毫米（mm）;,H——台阶高度，单位为纳米（nm）,4测量条件,测量条件如下：,a）测量环境温度：20℃±2℃,测量前及测量过程中的一小时内干涉腔内温度变化不大于0.5C；,b）测量环境相对湿度：低于70%；,c）洁净度：1万级；,d）环境振动：满足干涉仪设备对环境的振动要求；,e）环境气流：测量区域不允许存在明显扰动干涉条纹的气流,5台阶板要求,5.1光学材料,采用石英玻璃，材料各项指标参数要求如下（分类等级见JC" 185-1996）：,a）光学均匀性：1类；,b）可见光光谱透过率：1类；,c）应力双折射：1类；,d）条纹度：1类；,e）气泡度：优于1类；,0颗粒不均匀性：1类；,g）线膨胀系数：在0C.5（TC温度范围内小于5X10-7/c,5.2 台阶板尺寸结构,台阶板尺寸结构要求如下：,a） 口径尺寸：有效直径或对角线尺寸与干涉仪的测试口径之比大于1/5；,b）径厚比：5~10；,c）平行度：10'.15'；,d）台阶板表面台阶高度小于“4；,e）台阶垂直面陡直连续；台阶跃变边缘陡直，陡直度满足90。±5。；,f）台阶板刻线平直，位于台阶板中心,注：%为干涉仪的工作波长,5.3 台阶板光学参数,台阶板光学参数要求如下：,a）台阶板表面起伏噪声应小于0.004；,b）台阶板刻线两侧面形误差峰谷值均小于“6,透射波前畸变峰谷值均小于“6,台阶表面粗糙度,均方根值小于8X10-4九,5. 4表面要求,台阶板表面要求如下：,a）台阶板表面洁净，测量时干涉仪视场内不应存在尺寸大于干涉仪系统空间分辨率的粒子或,污渍；,b）台阶板表面疵病B/15X0.1,其它级数的对应规则见GB/T 1185-2006,2,GJB 6460-2008,6测量原理,根据台阶板的测量参数计算出理论台阶波前PSD,将干涉仪实测的台阶板波前PSD与理论台阶波,前PSD相比，确定干涉仪反射或透射系统传递函数，ISTF按公式（2）计算,W = 7^neas（/）/theory（/）.. （2）,式中：,T（f） ——干涉仪系统传递函数；,f 一一空间频率，单位为毫米分之一 （1/mm）；,尸measG） ——实测台阶波前PSD,单位为平方纳米毫米（由2mm）;,尸眠53）——理论台阶波前PSD,单位为平方纳米毫米（nm2mm）,示例：1STF曲线测量参见图1,图1 ISTF曲线测量,7测量步骤,7.1 测量前，台阶板应在测量环境中进行温度平衡，平衡时间见表1,表1台阶板在测量环境中温度平衡时间,直径或对角线尺寸D,mm QW50 50VDW150 150CDW250 D>250,平衡时间t,h t》5 自10 以2,7. 2根据反射波前畸变或透……
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